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計畫名稱:高靈敏度即時分子診斷用之奈米線場效電晶體關鍵元件開發

申請機構:漢磊科技股份有限公司

學研機構:國立交通大學

計畫執行期程:106/05/01~107/04/30

計畫摘要

  精準醫療是全球積極投入的方向,被視為改變現有醫療成效的關鍵,而分子診斷技術則是現代醫療轉化到精準醫療的首要途徑。就現有的分子診斷技術受限於靈敏度,螢光標示以及後續核酸放大技術使得檢測數據無法即時呈現。近年來由於矽奈米線場效電晶體(SiNWFET)具有超高靈敏度、免標示及即時檢測的優勢,在學術上已屢屢獲得驗證。但從可行性之驗證,移轉到市場商品化的臨床醫學應用,卻受限於穩定具量產能力矽奈米線場效電晶體(SiNWFET)的取得。
  然而,這研發瓶頸卻正是我們在台灣極具競爭力的領域。漢磊科技將整合學術界與半導體業界合作共同開發可應用於分子診斷之多晶矽奈米線場效電晶體,並使其達到可產業化之要求。其關鍵技術在於以side-wall spacer方式蝕刻出奈米線結構,並藉由精準地控制蝕刻時的條件來提高奈米線之良率以及一致性,結合製程的設計改良,搭配分子診斷驗證平台使其開發為適用生醫檢測之高靈敏度生物感測器,同時亦可藉此計畫先期培育產業所需研發能力,以及能夠跨領域整合醫療。