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計畫名稱:通訊用高響應綠光高速發光二極體

申請機構:聯勝光電股份有限公司

學研機構:國立成功大學

計畫執行期程:106/05/01~107/4/30

計畫摘要

本計畫旨在開發具有高速高響應之綠光發光二極體。元件成長於藍寶石基板上,磊晶結構使用高溫濺鍍氮化鋁緩衝層,並使用高載子濃度N型氮化鎵,配合低缺陷密度氮化銦鎵應力釋放層,再成長主動層以及P型披覆層,經過一系列的元件製程,包含使用蝕刻方式製作電流拘限結構、使用原子沉積製作高品質隔絕層、高反射率之p型歐姆接觸層、晶圓接合於絕緣永久基板後以及雷射剝離藍寶石基板後,製作P型及N型焊線電極,製作出高速高響應之綠光發光二極體,亦即可使用於塑膠光纖之光源。