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計畫名稱:多層膜干涉濾光片在晶圓級感測器上之整合應用

申請機構:采鈺科技股份有限公司

學研機構:國立中央大學

計畫執行期程:105/05/01~106/04/30

計畫摘要
本計畫將干涉式多層膜的紅外光截止濾光片、混和型紅外光截止濾光片、紫外光帶通濾光片整合至晶圓級的半導體感測器製程中,達成On-Chip Multi-Film在ambient light sensor、cMOS sensor和其他感測器的應用。綜觀本計畫因應新技術帶來的新客戶,其應用層面也從原本的cMOS sensor、light sensor,擴展到DOE元件,距離感測器,指紋辨識甚至是基因定序等光學感測產品。