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計畫名稱:以微投影顯示器為載具之微機電掃描面鏡製程平台開發

申請機構:亞太優勢微系統股份有限公司

學研機構:清華大學

計畫執行期程:102/05/01~103/04/30

計畫摘要
"該計畫以建構微掃描面鏡元件結構之穩定製程平台為目標,並以720p解析度微投影為載具標的。開發之製程平台可製作包含微鏡面、共振態靜電式梳狀致動器、與非共振態靜電式垂直梳狀致動器等關鍵部件,能輕易整合出雙軸向掃描、大角度、高共振頻率、低驅動電壓之靜電式微掃描面鏡。在元件測試方面並建構了獨特的晶圓級元件量測及架設,能進行自動化光學測試、據以降低不良品出廠機率,減少後段封裝測試之損失。 該計畫之完成,除建立領先微機電代工同業之競爭優勢、提升計畫雙方之技術能力與人才培育外,並預期能進一步串連台灣微機電上下游產業,包括設計公司、封測廠與消費電子供應商,協力打入國際市場的供應鏈,為台灣微機電產業帶進更高的產值與國際能見度。"