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計畫名稱:快速光致發光光譜空間掃描成像儀

申請機構:光焱科技股份有限公司

學研機構:國立成功大學(光電科學與工程學系)

計畫執行期程:102年6月1日~103年5月31日

計畫摘要

本案欲開發快速光致發光光譜掃描儀。整合發光光譜的激發與光譜量測,並同時能自動化大面積快速掃描量測後,並繪製圖形及統計分析量測結果。光焱科技具備光譜量測、自動化載台及光機電軟硬體整合經驗與能力,將進行本案的載台設計、光機整合、及量測分析軟體的發展;成功大學光電所崔祥辰教授為精密原子/分子光譜量測、近場光學顯微鏡、奈米生物光學領域專家,將對本案的PL光譜激發、量測作權光纖式光路的設計開發。本案最終將以目前化合物半導體業界多認同採用的型號RPM-2000的快速PL 光譜掃描成像儀的掃瞄速度為標準(4"晶圓10 分鐘完成全片、全光譜的掃描量測、分析),期能先期打開化合物半導體磊晶檢測市場。而核心技術:快速光譜掃描成像技術,可結合其他光譜技術,如反射率光譜、穿透率光譜、白光干涉光譜等,應用到許多產業的製程檢測上,可大幅開展多樣應用產品於產業界。 關鍵字:光致發光光譜空間、光譜掃描成像儀