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計畫名稱:大尺寸高階光罩之關鍵尺寸斜線修正與智慧型關鍵尺寸偏差值修正回饋系統

申請機構:弘榮光罩股份有限公司

學研機構:僑光科技大學

計畫執行期程:99年10月1日至100年9月30日

計畫摘要
本計畫完成後產生以下三項具體運用成效: (1)當完成關鍵尺寸偏差值回饋系統後將減少工程師Try Error的方式,並減少6寸光罩的使用,對於每片高 階光罩的製程時間將縮短4小時以上。 (2)當最小化製程補償值調整完成後,可接受0.75um線寬與間隙的高階光罩。 (3)當光罩最佳化均勻度調整完成後,整片的光罩均勻度從目前的±150nm,提升到±100nm,將可接下一世代 的高階光罩。 預估以上的技術提升將對弘榮光罩股份有限公司之高階光罩的營業利益有30%的貢獻,在100年將有伍百伍拾萬的貢獻,在101年將有壹仟萬的貢獻,在102年將有壹仟陸佰萬的貢獻。