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計畫名稱:基於微機電技術的兩種口呼式氧化錫基半導體氣體感測元件與模組之研製

申請機構:眾智光電科技股份有限公司

學研機構:國立交通大學

計畫執行期程:100年5月1日至101年4月30日

計畫摘要
該計畫所研發完成的微機電型半導體式氣體感測器,其技術特點如下: 1、以液相沈積法(liquid phase deposition, LPD)製作SnO2氣體感測層; 2、利用微機電製程製作具浮板型結構的低消耗功率感測器; 3、開發電毯式多晶矽加熱電阻製程以提供感測層均勻的工作溫度; 4、採定電阻迴授恆溫控制電路設計,可避免環境溫度變化影響精確度。 該產品可應用於人體呼氣之酒精含量量測,以供自我量測酒精濃度,避免酒後開車肇事。若將元件更換為H2S感測器,則可提供人體呼氣之口臭程度量測,亦可應用於人體肝功能自我檢測及工業廢氣之H2S濃度量測。